据六九硅业有限公司生产部副经理康谭介绍，与国内大多数多晶硅生产厂家不同，该项目首次采用的新硅烷法生产多晶硅，具有其他传统工艺方法无可比拟的节能、环保等巨大优势。新工艺生产中不产生难处理的四氯化硅等废弃物，同时综合耗电可降低38%，生产成本降至28美元/千克左右，大大低于行业平均水平；产品纯度最高可达到9N(99.9999999%)以上，超出了光伏企业产品纯度达6N的要求。

　　据了解，目前行业内生产多晶硅主要有两大工艺路线：改良西门子法和硅烷法。国内大多数厂家采用了前者。然而，该方法生产过程中，会排出四氯化硅、氯化氢等尾气，其工艺虽然已经从第二代逐渐升级到第三代，但四氯化硅处理的核心技术不在国内，且成本高昂。而新硅烷法最大特点就是采用闭环生产，不对环境造成污染。生产中不产生四氯化硅，并且采用3种回收工艺，分别将副产物氟化铝钠、氢气、硅烷加以回收，用作原料投入再生产，最终生成高纯的多晶硅和硫酸盐两种产品。业内有关人士评价，对国内整个光伏产业而言，新硅烷法提供了一种新的工艺路线，对国内多晶硅产业的影响将是革命性的。

　　据六九硅业有限公司技术部经理蔡春立介绍，六九硅业厂区内的尾气回收系统所占面积几乎相当于生产准备区。系统每小时可回收氢气53.6千克，回收的氢气将用于氢化铝钠生产，年可节约1336万元；液氮气化回收3.76万吨，年节约1000多万元；CVD反应器余热产生的蒸汽每小时可达1668立方米，循环回收利用年可节约资金3807万元。

　　目前，六九硅业有限公司多晶硅3000吨项目已经开始试车，多晶硅反应器的热油系统、四氟化硅制备区的热烘循环系统等均已启动，两大关键部位目前运转正常，年底可试生产。